Mагнетрон RSM / Mагнетрон RSMТ

Вращающийся одинарный магнетрон (RSM) подходит для большого количества процессов на постоянном токе с диапазоном мощности от 10 до 180 кВт. RSM могут быть оборудованы различными видами магнитов и предлагают полностью интегрированную систему впуска газа для наилучшего управления процессом.

 

Врашающийся одинарный магнетрон серии Т (RSMT): VON ARDENNE объединила источник магнетронного распыления и турбомолекулярный насос для создания нового класса ключевых компонентов – магнетронов серии Т.

 

Более того, мы оборудовали вращающиеся магнетроны серии Т новыми концевыми блоками Х-серии.

МАГНЕТРОНЫ СЕРИИ T [PDF]
Технологическая компетенция
Production/Internet/Live