Кластерные системы

Технологические системы с модульной конструкцией

Кластерные системы компании VON ARDENNE идельно подходят для удовлетворения различных технологических требований экспериментально-методических учреждений и клиентов, которым необходим инструмент для серийного производства.

 Это особенно справедливо в отношении развития новых технологий нанесения покрытия и создания слоев с особыми свойствами и высокой воспроизводимостью.

Системы могут быть сконфигурированы индивидуально для различных целей: до семи производственных камер и один или более загрузочный шлюз могут быть установлены вокруг центральной шлюзовой камеры. Все камеры отделены друг от друга, учитывая как вакуум, так и технологию управления.

Наши кластерные системы подходят для обработки подложек с учетом требований заказчика, имеющих максимальный размер 8 дюймов в диаметре или 200 мм x 200 мм. Для подложек малых размеров или имеющих нестандартную форму, как, к примеру, трехмерные объекты или фрагменты, используется несущий элемент.

Обзор

Области применения: architectural glazing, automotive, basic research, batteries, displays & touch panels, fuel cells, LED lighting, mechatronics (MEMS, MOEMS), medical devices, organic LEDs, photovoltaics, precision optics, sensors

Форма подложки: flat/rigid, flexible, three-dimensional

Материал подложки: glass, steel, wafers

Технология нанесения покрытий: ALD, electron beam technology, hot-wire CVD (HWCVD), magnetron sputtering down, magnetron sputtering up, magnetron sputtering vertical, plasma-enhanced CVD (PECVD), thermal evaporation

Назначение: active OLED layer, anti-fingerprint, anti-reflection, contact, corrosion protection, diffusion barrier, heat insulation, passivation, primer, reflection, semiconductor, solar control, TCO, wave length filter

Слои и многослойные покрытия: Double Low-E, Low-E, Solar Control, Triple Low-E

Соответствующие компоненты и системы:
Electron Beam Components
Sputter Components
Pre-Treatment
Measurement & Software


Соответствующее оборудование

Рядные системы

Технологические системы с модульной конструкцией

Системы загрузочного шлюза(Load Lock)

Технологические системы с модульной конструкцией

Органический светодиод (ОСД)

Перспективные технологии