Системы загрузочного шлюза(Load Lock)

Технологические системы с модульной конструкцией

Системы загрузочного шлюза компании VON ARDENNE специально сконструированы в целях НИОКР и для мелкомасштабного производства. Они удовлетворяют разные технологические требования и ,таким образом, идеально подходят для развития новых технологий нанесения покрытия и для надежного, воспроизводимого покрытия небольшого количества подложек.

 

Конструкция систем двухкамерная: загрузочный шлюз и технологическая камера. Благодаря модульной конструкции можно выбрать и комбинировать разные технологии и условия обработки для нанесения покрытия на подложку.Наши системы загрузочного шлюза могут работать как в режиме ручного управление, так и в польностью автоматическом режиме, в зависимости от применения.

 

Системы загрузочного шлюза подходят для обработки подложек с учетом требований заказчика и имеющих максимальный размер 8 дюймов в диаметре или 200 мм x 200 мм. Для обработки подложек малых размеров или имеющих нестандартную форму, как, к примеру, трехмерные объекты или фрагменты, используется несущий элемент.

Обзор

Области применения: architectural glazing, automotive, basic research, batteries, displays & touch panels, fuel cells, LED lighting, mechatronics (MEMS, MOEMS), medical devices, organic LEDs, photovoltaics, precision optics, sensors

Форма подложки: flat/rigid, flexible, three-dimensional

Материал подложки: glass, steel, wafers

Технология нанесения покрытий: ALD, electron beam technology, hot-wire CVD (HWCVD), magnetron sputtering down, magnetron sputtering up, magnetron sputtering vertical, plasma-enhanced CVD (PECVD), thermal evaporation

Назначение: active OLED layer, anti-fingerprint, anti-reflection, contact, corrosion protection, diffusion barrier, heat insulation, passivation, primer, reflection, semiconductor, solar control, TCO, wave length filter

Слои и многослойные покрытия: Double Low-E, Low-E, Solar Control, Triple Low-E

Соответствующие компоненты и системы:
Sputter Components
Pre-Treatment
Measurement & Software


Соответствующее оборудование

Кластерные системы

Технологические системы с модульной конструкцией

Рядные системы

Технологические системы с модульной конструкцией