SCALA

Модульная система нанесения покрытия

SCALA – это модульная система нанесения покрытия в вакууме с транспортировкой подложки c помощью несущего элемента. Она разработана для кристаллических фотоэлектрических устройств на кремниевых пластинах. Эта система может быть также приспособлена для тонкопленочных фотоэлектрических устройств на основе стекла или для других устройств на плоской подложке.

 

Благодаря модульной конструкции система SCALA может быть адаптирована под нужды и требования клиента. Мы предлагаем SCALA в двух базовых конфигурациях.

 

SCALA LabX является установкой для обработки полупроводниковой пластины партиями. Загрузка и отгрузка осуществляются с одной стороны. Установка доступна с или без шлюзовой камеры. SCALA LabX отлично подходит для прикладных разработок и разработки процессов.

 

С другой стороны, SCALA PilotX сконструирована для рядного режима работы и идеально подходит для пилотного производства.

Обзор

Области применения: architectural glazing, fuel cells, mobile devices, photovoltaics

Форма подложки: flat/rigid, three-dimensional

Материал подложки: , aluminum, glass, polymer, stainless steel, wafers

Технология нанесения покрытий: electron beam technology, magnetron sputtering down, magnetron sputtering up

Назначение: anti-reflection, contact, corrosion protection, decoration, heat insulation, passivation, scratch-resistant, solar control, TCO, wave length filter

Слои и многослойные покрытия: Ag, Al, AlOx, AZO, C, Co, Cr, Cu, Double Low-E, ITiO, ITO, Low-E, Ni, NiV, Si, SiN, SiOx, Solar Control, Ti, TiOx, Triple Low-E, Zn

Соответствующие компоненты и системы:
Sputter Components
Pre-Treatment
Measurement & Software


Соответствующее оборудование

XENIA

Cистема покрытия полупроводниковых пластин

Рядные системы

Технологические системы с модульной конструкцией

Топливный элемент

Перспективные технологии

Органический светодиод (ОСД)

Перспективные технологии

Production/Internet/Live