SCALA – это модульная система нанесения покрытия в вакууме с транспортировкой подложки c помощью несущего элемента. Она разработана для кристаллических фотоэлектрических устройств на кремниевых пластинах. Эта система может быть также приспособлена для тонкопленочных фотоэлектрических устройств на основе стекла или для других устройств на плоской подложке.
Благодаря модульной конструкции система SCALA может быть адаптирована под нужды и требования клиента. Мы предлагаем SCALA в двух базовых конфигурациях.
SCALA LabX является установкой для обработки полупроводниковой пластины партиями. Загрузка и отгрузка осуществляются с одной стороны. Установка доступна с или без шлюзовой камеры. SCALA LabX отлично подходит для прикладных разработок и разработки процессов.
С другой стороны, SCALA PilotX сконструирована для рядного режима работы и идеально подходит для пилотного производства.
