RMM 磁控管

RMM 多模式旋转磁控管是以冯·阿登纳 RDM 双旋转磁控管为基础。RMM 能够提高工艺灵活性,因为您可以将其用于直流 和交流模式。对于直流工艺,优化的阳极设计确保高可靠性、高沉积速度和稳定的工艺状况。为确保最佳运行状态,我们建议使用双极电源。

PLASMA COMPONENTS
技术能力
Production/Internet/Live