先进的加热控制系统

冯·阿登纳先进的加热控制系统是世界上首个用于在镀膜工艺之前和期间对基片进行可靠加热的解决方案。该系统具有操作简单的特征,有助于提高生产工艺的效率和降低操作成本。在较小公差范围内快速可靠的基片温度设置,以及高温均匀性,可以缩短产能提升时间,并最大程度减少破碎和废料。

冯·阿登纳先进的加热控制系统是标准的加热处理部件,也就是说 PIA|nova®、XEA|nova® 和 FOSA 镀膜系统均采用了该加热控制系统。

可使用加热控制系统对现有的冯·阿登纳系统进行升级。

技术能力
Production/Internet/Live