均匀性调整软件

冯·阿登纳的在线均匀性调整模块是一个基于网络的应用程序,可以快速优化单个薄膜层的厚度均匀性(“%范围”)。

输入已测量的厚度配置文件及当前气体调整的设置之后,就会提出新的能够改进均匀性的气体调整设置。

同样地,也可以计算光学设置的磁棒调整(“均场”)。

- 靶材更改后启动均匀性调整
- 长期偏离厚度配置文件的停机检修

收益:
- 试验和错误调整替换为现场测试机械方法
- 三至四个单膜层试验中发现的最佳设置,确保降低维护时间
- 产品质量提高
- 进入要求高均匀性的应用领域
- 简单方便
- 可在联网和有浏览器的任何设备上运行,例如 PC 工作站、智能手机等

PLASMA COMPONENTS
技术能力
Production/Internet/Live