RSM/RSM-RSMT/RSMT 磁控管

RSM 单旋转磁控管适用于各种功率范围从 10 至 180 千瓦的直流工艺。它们可以配备各种磁场设计,能够提供全面集成的进气系统,实现最佳工艺控制性能。

RSMT - T 系列磁控管:冯·阿登纳将磁控溅射源技术与涡轮分子泵结合起来,生产出了一个新的关键部件类别——T 系列磁控管。

另外,公司还在 T 系列可旋转磁控管上安装了新型的 X 系列端头。

T 系列磁控管
技术能力
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