簇式系统

模块化系统

冯·阿登纳簇式系统能够很好地满足研发设施的不同技术要求,也是需要实现量产的客户的理想工具。

在开发和创造具有特别属性和高重复性的新的镀膜技术和膜层时特别有效。

系统可以针对不同的任务单独进行配置:中央传输腔体周围最多可以安装七个工艺腔体以及一个或多个进料真空锁定系统。所有腔体都是相互独立的,无论是真空状态切换还是控制技术方面,都是如此。

我们的簇式系统适用于客户特定基片的处理,最大加工尺寸可达到直径 8英寸,或者 200 mm x 200 mm。对于尺寸较小的基片,或者形状不规则的基片,例如碎片或者三维物体,可以使用载体。

概述

应用: LED 照明, 传感器, 光伏, 医疗器械, 基本研究, 建筑玻璃镀膜, 显示屏和触摸屏, 有机发光二极管, 机械电子 (MEMS, MOEMS), 汽车, 燃料电池, 电池, 精密光学

基片形状: 三维, 平面/刚性, 柔性

基材: 晶圆, 玻璃, 钢

镀膜技术: ALD, 垂直磁控溅射, 热丝化学气相沉积 (HWCVD), 热蒸发, 电子束技术, 磁控溅射(向上), 磁控溅射(向下), 等离子体增强型化学气相沉积 (PECVD)

功能: 半导体, 反射, 基底层, 太阳能控制, 扩散阻挡层, 有源有机发光二极管膜层, 波长滤光片, 电极层, 粘合剂 , 透明导电氧化物, 钝化, 防反射, 防腐蚀保护, 隔热

膜层和膜系: Low-E, 三层 Low-E, 双层 Low-E, 太阳能控制

相应的部件和系统:
电子束部件
溅射部件
预处理
测量与软件


相应的设备

进料真空锁定系统

模块化系统

Production/Internet/Live