FOSA CX

卷绕镀膜系统

FOSA CX 是一种紧凑型生产工具,用于在聚合物薄膜上以卷对卷的方式沉积功能性膜层。

该系统非常适于大型量产,并且针对单鼓应用进行了优化。此外,由于采用可自动配置的单元结构,可从两侧便捷地完成维护。

概述

应用: 光伏, 包装, 半导体设备, 建筑玻璃镀膜, 显示屏和触摸屏, 汽车

基片形状: 柔性

基材: 聚合物

镀膜技术: 冷却鼓上磁控溅射

功能: 太阳能控制, 扩散阻挡层, 柔性 PCB/FCCL, 电极层, 电致变色, 透明导电氧化物, 钝化, 防反射, 隔热

膜层和膜系: AlOx, AZO, Cu, ITO, Low-E, Mo, NbOx, SiN, SiOx, W, 三层 Low-E, 双层 Low-E, 太阳能控制, 铝, 铬

相应的部件和系统:
溅射部件
预处理
后处理
测量与软件


相应的设备

Production/Internet/Live