FOSA MX

卷绕镀膜系统

FOSA MX 是一种采用模块化设计的卷绕镀膜系统。该系统非常适于大型量产，最多可以配置三个镀膜鼓。此外，系统还采用了先进的维护理念。

作为业内认可的大面积镀膜用真空沉积设备的开发商和制造商，冯·阿登纳将其在 PVD 技术和卷材处理方面的广泛知识和专业能力融入到这个平台中。

应用: 光伏, 包装, 半导体设备, 建筑玻璃镀膜, 显示屏和触摸屏, 汽车

基片形状: 柔性

基材: 聚合物

镀膜技术: 冷却鼓上磁控溅射

功能: 太阳能控制, 扩散阻挡层, 柔性 PCB/FCCL, 电极层, 电致变色, 透明导电氧化物, 钝化, 防反射, 隔热

膜层和膜系: AlOx, AZO, Cu, ITO, Low-E, Mo, NbOx, SiN, SiOx, W, 三层 Low-E, 双层 Low-E, 太阳能控制, 铝, 铬

相应的部件和系统：
溅射部件
 预处理
 后处理
 测量与软件