SCALA

模块化镀膜系统

SCALA是一个模块化的带有基片传输载体的真空镀膜系统。这是为基于硅片的晶硅光伏应用而设计的,诸如异质结太阳能电池透明导电层和金属层沉积。

感谢这样的模块化设计,SCALA可以根据客户的需求来进行配置。

我们提供两种该系统的基本配置。SCALA LabX是单向的工具,用于带有或不带有装载锁室的批处理系统,是实验室用于工艺和应用研发的理想选择。

SCALA PilotX是另一种设计为在线运行,适合中试线生产的设备。

概述

应用: mobile devices, 光伏, 建筑玻璃镀膜, 燃料电池

基片形状: 三维, 平面/刚性

基材: , 不锈钢, 晶圆, 玻璃, 聚合物, 铝

镀膜技术: 电子束技术, 磁控溅射(向上), 磁控溅射(向下)

功能: 太阳能控制, 波长滤光片, 电极层, 装饰, 透明导电氧化物, 钝化, 防刮擦, 防反射, 防腐蚀保护, 隔热

膜层和膜系: Ag, AlOx, AZO, C, Cu, ITiO, ITO, Low-E, Ni, NiV, Si, SiN, SiOx, 三层 Low-E, 双层 Low-E, 太阳能控制, 氧化钛, 钛, 钴, 铝, 铬, 锌

相应的部件和系统:
溅射部件
预处理
测量与软件


相应的设备

XENIA

晶圆和玻璃涂层系统

燃料电池

新兴技术

Production/Internet/Live