XEA|nova® 是一种带有载体返回传输装置的连续式晶硅镀膜系统。这是为高效异质结太阳能电池应用例如透明导电层和金属层沉积专门设计的。该系统也适用于其它小型基片。
XEA|nova® 的显著特点是能够按顺序对基片的两个表面同时进行处理。XEA|nova® 可配备旋转磁控管进行溅射,也可以配备电子束枪及各种蒸发源。可以在真空状态下或在基片进入真空状态之前对基片进行特殊的预处理,比如对基片进行清洗或蚀刻。
冯·阿登纳已经向光伏产业提供了 140 多个镀膜系统,从中获得的丰富经验也让 XEA|nova® 受益颇多。融合了经认证的技术和设计,这是客户寻找大型量产、高度灵活生产设备的最佳选择。