XEA|nova®

晶硅镀膜系统

XEA|nova® 是一种带有载体返回传输装置的连续式晶硅镀膜系统。这是为高效异质结太阳能电池应用例如透明导电层和金属层沉积专门设计的。该系统也适用于其它小型基片。

XEA|nova® 的显著特点是能够按顺序对基片的两个表面同时进行处理。XEA|nova® 可配备旋转磁控管进行溅射,也可以配备电子束枪及各种蒸发源。可以在真空状态下或在基片进入真空状态之前对基片进行特殊的预处理,比如对基片进行清洗或蚀刻。

冯·阿登纳已经向光伏产业提供了 140 多个镀膜系统,从中获得的丰富经验也让 XEA|nova® 受益颇多。融合了经认证的技术和设计,这是客户寻找大型量产、高度灵活生产设备的最佳选择。

概述

应用: 光伏, 燃料电池

基片形状: 平面/刚性

基材: , 不锈钢, 晶圆, 玻璃, 聚合物

镀膜技术: 电子束技术, 磁控溅射(向上), 磁控溅射(向下)

功能: 电极层, 透明导电氧化物, 钝化, 防反射, 防腐蚀保护

膜层和膜系: Ag, AlOx, AZO, C, Cu, ITiO, ITO, Ni, NiV, SiN, SiOx, 氧化钛, 钛, 钴, 铝, 铬, 锌

相应的部件和系统:
溅射部件
预处理


相应的设备

XENIA

晶圆和玻璃涂层系统

燃料电池

新兴技术

Production/Internet/Live