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概述

应用: 光伏, 燃料电池

基片形状: 平面/刚性

基材: metals, 不锈钢, 晶圆, 玻璃, 聚合物

镀膜技术: 电子束技术, 磁控溅射(向上), 磁控溅射(向下)

功能: 电极层, 透明导电氧化物, 钝化, 防反射, 防腐蚀保护

膜层和膜系: Ag, AlOx, AZO, C, Cu, ITiO, ITO, Ni, NiV, SiN, SiOx, 氧化钛, 钛, 钴, 铝, 铬, 锌

相应的部件和系统:
溅射部件
预处理


相应的设备

燃料电池

新兴技术

Production/Internet/Live